新宇宙 XP-703DIII半導(dǎo)體多參數(shù)氣體檢測(cè)儀是日本 COSMOS 公司 (新宇宙電機(jī)株式會(huì)社) 生產(chǎn)的便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀，專為檢測(cè)半導(dǎo)體行業(yè)中使用的微量有毒氣體泄漏設(shè)計(jì)，可同時(shí)檢測(cè)多種特種氣體，是半導(dǎo)體工廠安全管理的重要工具。新宇宙 XP-703DIII 是一款專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)的便攜式多氣體檢測(cè)儀，具備超便攜、高靈敏度、多功能保護(hù)等特點(diǎn)，能快速檢測(cè) 5 種關(guān)鍵半導(dǎo)體材料氣體的微量泄

新宇宙 XP-703DIII半導(dǎo)體多參數(shù)氣體檢測(cè)儀是日本 COSMOS 公司 (新宇宙電機(jī)株式會(huì)社) 生產(chǎn)的便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀，專為檢測(cè)半導(dǎo)體行業(yè)中使用的微量有毒氣體泄漏設(shè)計(jì)，可同時(shí)檢測(cè)多種特種氣體，是半導(dǎo)體工廠安全管理的重要工具。新宇宙 XP-703DIII 是一款專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)的便攜式多氣體檢測(cè)儀，具備超便攜、高靈敏度、多功能保護(hù)等特點(diǎn)，能快速檢測(cè) 5 種關(guān)鍵半導(dǎo)體材料氣體的微量泄漏，是保障半導(dǎo)體工廠安全生產(chǎn)的重要工具。

產(chǎn)品定位與核心功能

檢測(cè)對(duì)象：半導(dǎo)體工藝中使用的5 種關(guān)鍵氣體：

砷烷 (AsH?)：0.2ppm 起檢

磷化氫 (PH?)：0.3ppm 起檢

 (B?H?)：0.1ppm 起檢

硅烷 (SiH?)：0.5ppm 起檢

氫氣 (H?)：1.0ppm 起檢

檢測(cè)原理：熱線型半導(dǎo)體式(利用氣體接觸傳感器時(shí)引起的電阻變化檢測(cè))

采樣方式：自動(dòng)吸引式(內(nèi)置微型泵，主動(dòng)抽取空氣樣本)

響應(yīng)速度：10 秒內(nèi)即可檢測(cè)到目標(biāo)氣體 (濃度達(dá)到檢測(cè))

技術(shù)參數(shù)與性能特點(diǎn)

參數(shù)數(shù)值說明

尺寸W38×H130×D32mm超便攜設(shè)計(jì)，一手掌握

重量約 190g (含電池)輕量化，長(zhǎng)時(shí)間操作不疲勞

電源2 節(jié) 5 號(hào)堿性電池更換簡(jiǎn)便，隨處可得

續(xù)航時(shí)間約 12 小時(shí) (常溫)滿足全天工作需求

檢測(cè)精度可達(dá) PPB 級(jí)別能發(fā)現(xiàn)極微量泄漏 (10??Pa?m3/s)

防護(hù)等級(jí)IP22 (配皮套時(shí))防塵防潮，適應(yīng)工業(yè)環(huán)境

顯示方式LCD 數(shù)字顯示 + 雙色指示燈清晰顯示濃度值和報(bào)警狀態(tài)

報(bào)警方式聲音 (頻率隨濃度增加變快)+ 紅色指示燈便于定位泄漏點(diǎn)

獨(dú)特功能亮點(diǎn)

泵自動(dòng)保護(hù)功能：

檢測(cè)到異常 (如水進(jìn)入或探頭堵塞) 時(shí)自動(dòng)停止泵運(yùn)轉(zhuǎn)

防止設(shè)備損壞，延長(zhǎng)使用壽命

恢復(fù)按鈕可一鍵恢復(fù)正常檢測(cè)

自動(dòng)氣體排氣模式：

關(guān)機(jī)時(shí)自動(dòng)排出機(jī)內(nèi)殘留氣體

保護(hù)傳感器壽命，避免交叉污染

高靈敏度設(shè)計(jì)：

對(duì)等高危氣體檢測(cè)下限低至 0.1ppm

可在危險(xiǎn)濃度形成前預(yù)警，保障人員安全

應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體及相關(guān)行業(yè)安全監(jiān)測(cè)：

半導(dǎo)體制造：擴(kuò)散、蝕刻、CVD 等工藝設(shè)備泄漏檢測(cè)

光伏產(chǎn)業(yè)：硅材料生產(chǎn)、太陽(yáng)能電池制造

科研機(jī)構(gòu)：實(shí)驗(yàn)室特種氣體管理

石油化工：涉及特種氣體的工藝環(huán)節(jié)安全監(jiān)控

電子制造業(yè)：各類使用氫氣等特種氣體的生產(chǎn)線

使用方法 (簡(jiǎn)版)

裝入 2 節(jié) 5 號(hào)電池

開機(jī)自動(dòng)預(yù)熱校準(zhǔn)

將探頭靠近待檢測(cè)區(qū)域

設(shè)備自動(dòng)抽取空氣檢測(cè)

濃度超標(biāo)時(shí)：

紅色報(bào)警燈閃爍

蜂鳴器發(fā)出頻率遞增的警報(bào)聲 (濃度越高，頻率越快)

LCD 顯示具體濃度值

使用后長(zhǎng)按電源鍵 3 秒關(guān)機(jī)，設(shè)備自動(dòng)排氣

新宇宙 XP-703DIII半導(dǎo)體多參數(shù)氣體檢測(cè)儀與 SDM-72/73 的對(duì)比

特性XP-703DIII (氣體檢測(cè)儀)SDM-72/73 (鐵粉濃度計(jì))

檢測(cè)對(duì)象半導(dǎo)體特種氣體 (氣態(tài))潤(rùn)滑脂 / 油中鐵粉 (固態(tài)顆粒)

應(yīng)用領(lǐng)域半導(dǎo)體、光伏等氣體工藝機(jī)械設(shè)備潤(rùn)滑系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)設(shè)備

檢測(cè)原理熱線型半導(dǎo)體式磁性平衡式電磁感應(yīng)法

用途氣體泄漏預(yù)警，保障生產(chǎn)安全設(shè)備磨損診斷，預(yù)測(cè)性維護(hù)

顯示單位ppm (百萬(wàn)分之一)% 或 ppm (根據(jù)型號(hào))