XPS-7II便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測儀是日本新宇宙 (New Cosmos Electric) 公司生產(chǎn)的專業(yè)便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測儀，可通過更換傳感器組件檢測多種半導(dǎo)體工藝中使用的有毒氣體。XPS-7II 是一款專為半導(dǎo)體和化工行業(yè)設(shè)計的高性能便攜式氣體檢測利器，通過靈活的模塊化傳感器系統(tǒng)，為工業(yè)安全提供 “一器多用“ 的專業(yè)保障。其小巧輕便的設(shè)計和可靠的檢測性能，使其成為半導(dǎo)體工廠安全巡檢

XPS-7II便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測儀是日本新宇宙 (New Cosmos Electric) 公司生產(chǎn)的專業(yè)便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測儀，可通過更換傳感器組件檢測多種半導(dǎo)體工藝中使用的有毒氣體。XPS-7II 是一款專為半導(dǎo)體和化工行業(yè)設(shè)計的高性能便攜式氣體檢測利器，通過靈活的模塊化傳感器系統(tǒng)，為工業(yè)安全提供 "一器多用" 的專業(yè)保障。其小巧輕便的設(shè)計和可靠的檢測性能，使其成為半導(dǎo)體工廠安全巡檢、危險氣體泄漏應(yīng)急響應(yīng)的理想選擇。

產(chǎn)品定位與核心功能

專業(yè)領(lǐng)域：專為半導(dǎo)體制造、石油化工等行業(yè)的有毒氣體檢測設(shè)計

檢測原理：定電位電解式（部分氣體需搭配熱解器）

采樣方式：內(nèi)置泵吸式（自動吸引式），可遠(yuǎn)程采樣

獨(dú)特優(yōu)勢：小的便攜式 NF3 (三氟化氮) 檢測器

XPS-7II便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測儀技術(shù)參數(shù)與性能

參數(shù)規(guī)格

尺寸約 215 (W)×75 (H)×100 (D) mm

重量約 1.3kg（含電池）

電源充電式鋰電池，連續(xù)工作約 8 小時

顯示LCD 屏幕，可顯示氣體濃度、報警狀態(tài)、電池電量等

報警方式95dB 蜂鳴器 + 紅色 LED 閃爍 + 振動

防爆等級Ex ia IIC T3 Ga（本質(zhì)安全型，適用于危險區(qū)域）

防護(hù)等級IP65（防塵防水）

模塊化檢測系統(tǒng)（核心亮點(diǎn)）

XPS-7II 采用獨(dú)特的 "盒式傳感器" 設(shè)計，只需更換專用傳感器單元，即可檢測不同的目標(biāo)氣體：

常見檢測氣體：

氯氣 (Cl?)：0-30ppm

氯化氫 (HCl)：0-50ppm

氨氣 (NH?)：0-100ppm

硅烷 (SiH?)：0-10ppm

三氟化氮 (NF?)：0-10ppm

砷化氫 (AsH?)、磷化氫 (PH?) 等半導(dǎo)體專用氣體

應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造業(yè)

晶圓廠氣體管道泄漏檢測

反應(yīng)腔室、真空系統(tǒng)氣體純度監(jiān)測

特氣柜 (VMB) 周邊安全巡檢

化工與制藥行業(yè)

氯堿廠氯氣泄漏檢測

制藥工藝中特殊氣體監(jiān)控

實驗室有毒氣體環(huán)境監(jiān)測

其他高危工業(yè)環(huán)境

太陽能電池制造（硅烷等易燃易爆氣體）

液晶面板生產(chǎn)（NF3 等特種氣體）

科研機(jī)構(gòu)特殊氣體實驗安全保障

使用方法簡述

根據(jù)檢測目標(biāo)選擇并安裝對應(yīng)傳感器單元

開機(jī)預(yù)熱（約 30 秒），設(shè)備自動自檢

將采樣管伸向檢測區(qū)域（可連接延長管至數(shù)米）

觀察 LCD 顯示的實時濃度值

當(dāng)氣體濃度超標(biāo)時，設(shè)備發(fā)出聲光振動報警

使用后建議在潔凈環(huán)境中運(yùn)行 5 分鐘再關(guān)機(jī)，延長傳感器壽命

總結(jié)